FFU為英文縮寫，全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為"風機濾器單元（機組）"。也就是將風機和過濾器（高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA））組合在一起構成自身提供動力的末端凈化設備。

箱體材質可依客戶需求，依環境需要采用不銹鋼或鋼板烤漆。風機組附運轉指示燈及外接接點，以利監控。風機組附異常指示燈及外接接點，可自行檢視異常原因，于正常送電下風機無運轉時．異常燈亮。（可能出現下列情況） :

特點：

**:靈活性。

因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

**:可再利用性。

從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三:負壓通風。

這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡單而且**。

第四:縮短建設周期。

使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

第五:減少運行成本。

雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。